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Edwards PVPK 閥是快速反應的氣動操作直角隔離閥，帶有波紋管和 O 形密封圈，可用于提供無油脂的真空環(huán)境。這種閥帶有直觀和電子的閥狀態(tài)指示功能，可以選...

BGV 地下室插板閥是一系列由不銹鋼制成，用波紋管密封的地下室隔離閥。它們是與 VAT 協(xié)作設計的，可以使泵在前級管線維護期間繼續(xù)運行，從而使在嚴苛制程中運行的...

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Edwards 前級/粗抽閥配有 ISO NW 粗抽和預抽真空泵端子，采用手動和氣動操作方式。這是一個完整的 3 端口裝置，集獨立的前級/粗抽閥的功能于一身。

這類閥是軟啟動的氣動操作管線閥，帶有可更換的孔板，可為湍急氣流會導致微粒污染問題的制程提供受控的制程抽氣。隨動閥和主閥的組合使得初始泵送可以緩慢進行，以盡可能減...

Edwards GV 系列不銹鋼密封插板閥適用于需要整體密封且在殘留大氣中存在低限度碳氫化合物的應用。這些質(zhì)量出眾的閥提供了高度的整體真空和高的傳導性。