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當(dāng)前位置：HORIBA 科學(xué)儀器事業(yè)部>>公司動(dòng)態(tài)>>靈活可變，輕松玩轉(zhuǎn)半導(dǎo)體光譜測(cè)量 | 前沿應(yīng)用
靈活可變，輕松玩轉(zhuǎn)半導(dǎo)體光譜測(cè)量 | 前沿應(yīng)用
半導(dǎo)體行業(yè)已邁向爆發(fā)式增長(zhǎng)，顯微光譜技術(shù)是半導(dǎo)體材料表征的有效手段之一。普通整機(jī)光譜儀往往只能提供單一的顯微光譜測(cè)量功能，無法滿足半導(dǎo)體材料表征多變的需求。此時(shí)，可靈活定制的 HORIBA SMS 顯微光譜測(cè)量系統(tǒng)脫穎而出，讓半導(dǎo)體人輕松玩轉(zhuǎn)光譜測(cè)量！
01 靈活光譜系統(tǒng)， 多表征一機(jī)到位
SMS 顯微光譜測(cè)量系統(tǒng)可根據(jù)研究團(tuán)隊(duì)對(duì)半導(dǎo)體的不同測(cè)量目標(biāo)，配置相適宜的、高性價(jià)比的測(cè)量附件，讓光譜系統(tǒng)“活”起來，一機(jī)實(shí)現(xiàn)多種光譜測(cè)量，滿足高靈活的半導(dǎo)體測(cè)試分析需求。不僅僅是拉曼、光致發(fā)光以及反射光譜，SMS 還可測(cè)量時(shí)間分辨光致發(fā)光、透射、暗場(chǎng)散射及電致發(fā)光光譜，以滿足如半導(dǎo)體內(nèi)部應(yīng)力/應(yīng)變表征、純度、異質(zhì)結(jié)構(gòu)、摻雜效果等多種測(cè)試目標(biāo)，全力助推行業(yè)技術(shù)成熟進(jìn)步。
另外，SMS 搭載了 LabSpec 軟件，能控制系統(tǒng)組件和配件，提供高級(jí)數(shù)據(jù)采集分析程序，大大提升光譜成像結(jié)果與分析檢測(cè)報(bào)告效率。軟硬件搭配得當(dāng)，賦予光譜系統(tǒng)強(qiáng)大的控制功能，讓操作流程更簡(jiǎn)易便捷，分析結(jié)果更輕松可得。
使用HORIBA LabSpec軟件對(duì)穩(wěn)態(tài)PL測(cè)量和信號(hào)分析處理后，
得到的不同半導(dǎo)體材料的光致發(fā)光光譜表征
此外該系統(tǒng)模塊化的設(shè)計(jì)特點(diǎn)還能為后續(xù)儀器設(shè)備升級(jí)迭代留下足夠的空間與可能性。
HORIBA的顯微光譜測(cè)量系統(tǒng)(SMS)正視圖
其探測(cè)器、物鏡及光譜儀皆可實(shí)現(xiàn)靈活配置
02 光譜系統(tǒng)搭建，性能與耦合是關(guān)鍵
顯微光譜測(cè)量系統(tǒng)的關(guān)鍵在于核心光學(xué)部件的優(yōu)異性能與穩(wěn)定耦合。SMS 的核心部件皆由 HORIBA 原廠制造，HORIBA 擁有 200 多年歷史的品牌 Jobin Yvon 光譜技術(shù)，具備足夠的實(shí)力研發(fā)并制造質(zhì)量過關(guān)、性能好的各類光學(xué)部件，包括探測(cè)器、光柵及光譜儀等。同時(shí)，這些部件經(jīng)過多次搭建安裝測(cè)試與驗(yàn)證，能有效保證彼此間互相兼容，始終保持穩(wěn)定耦合。
此外，正是由于各關(guān)鍵部件皆由 HORIBA 制造，能從根本上杜絕因不同部件分屬不同制造商而導(dǎo)致的維護(hù)責(zé)任歸屬問題，讓用戶使用時(shí)無后顧之憂。
HORIBA 顯微光譜測(cè)量系統(tǒng) (SMS) 是基于標(biāo)準(zhǔn)顯微鏡的模塊化、靈活搭建的顯微系統(tǒng)，既能保證顯微鏡的成像性能也能保證光譜性能。那么它是如何通過配置不同附件來實(shí)現(xiàn)不同光譜測(cè)量，從而滿足半導(dǎo)體材料的測(cè)試目標(biāo)的？不同的光譜測(cè)量技術(shù)對(duì)于半導(dǎo)體材料分析意味著什么？還有哪些需要注意的？更多詳細(xì)信息，請(qǐng)掃描下方二維碼查看。
