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磁浮多軸運動臺（Maglev Multi-axis Stage）

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海頻標科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時間2025/3/30 8:17:43
  • 訪問次數(shù)21
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　　上海頻標科技有限公司是一家專業(yè)的實驗室儀器設(shè)備及試劑耗材類產(chǎn)品的綜合服務(wù)提供商，集研發(fā)、集成、銷售、測試服務(wù)、方案咨詢及品牌代理于一體。公司業(yè)務(wù)主要涵蓋實驗室各類測試測量及分析設(shè)備、試劑及耗材、成像及光譜、半導(dǎo)體微電子復(fù)雜系統(tǒng)及環(huán)境控制等多個領(lǐng)域。我司下設(shè)光電事業(yè)部、生命科學事業(yè)部、光譜事業(yè)部、半導(dǎo)體微電子事業(yè)部四大事業(yè)部，廣泛服務(wù)于各大科研院所、企業(yè)研發(fā)中心、半導(dǎo)體微電子、生命科學等領(lǐng)域中的眾多客戶，并長期以來秉承“請將問題交給我們，時間留給科研!”的企業(yè)理念，誠信、高效、專業(yè)地努力為客戶提供服務(wù)。
 
　　上海頻標科技有限公司由來自于東京大學、中科院研究所、吉林大學及復(fù)旦大學等多位業(yè)內(nèi)儀器儀表及解決方案領(lǐng)域的教授、博士、碩士等專業(yè)團隊構(gòu)成，公司致力于打造實驗室綜合解決方案和服務(wù)提供商。我們崇尚專注、專業(yè)、專長，以努力為各類客戶提供專家型一站式服務(wù)為宗旨。
儀器儀表，實驗室耗材，光電，生命科學，半導(dǎo)體微電子，光譜
平臺特性 集成式3 軸平臺，正交性設(shè)計 全局平面度、直線度達微米級X 軸 高剛度防蠕變交叉滾柱導(dǎo)軌 無線纜擾動力設(shè)計Z 軸 垂向磁懸浮重力補償，可實現(xiàn)定位精度 高剛性、高精度導(dǎo)向設(shè)計 垂向增量光柵，可實現(xiàn)5 納米分辨率 超薄型、輕量化設(shè)計 垂向可支持30mm 行程Rz 軸 360 旋轉(zhuǎn)，無管路纏繞，支持12’、8’晶圓真空吸附 支持±0.7mm 翹曲晶圓 支持轉(zhuǎn)速......
磁浮多軸運動臺（Maglev Multi-axis Stage） 產(chǎn)品信息
平臺概要

磁浮多軸運動臺采用超薄型、正交性設(shè)計理念。能實現(xiàn)X、Z 和Rz 軸3 自由度的高精度、高剛度直線和旋轉(zhuǎn)運動。其中垂向采用了的大行程磁浮重力補償技術(shù)，降低垂向電機的載荷，極大的提高垂向運動性能和壽命的功能?？蓮V泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查等。


技術(shù)參數(shù)


定制信息
磁浮多軸運動臺可選項：在Maglev Multi-axis Stage 產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實際應(yīng)用選擇的可選項。可選內(nèi)容包括編碼器、高精度標定、控制系統(tǒng)等選項。


編碼器選項
-E1 增量式模擬光學式線性編碼器，1Vpp
-E2 增量式數(shù)字光學式線性編碼器，TTL
-E3 式光學式線性編碼器，BISS


高精度標定選項

-PLUS 高精標定：產(chǎn)品生產(chǎn)結(jié)束，出廠前對平臺進行干涉儀標定


控制系統(tǒng)選項

-PEG ACS 4 軸驅(qū)動器，可選配支持PEG 等功能
-STO ACS 4 軸驅(qū)動器，可選配支持STO 等功能
-VCL ACS 4 軸驅(qū)動器，可選配支持自動對焦等功能

關(guān)鍵詞：編碼器
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