產(chǎn)品特點(diǎn):
1、面積大:0~?25毫米、0~?50毫米;
2、濺射樣品表面膜層更均勻;
3、顆粒度更?。?nm左右);
4、濺射到樣品表面能量低,對樣品損傷??;(適用溫度敏感性高的樣品)
5、可以濺射各種固體靶材(如各種金屬、陶瓷、碳等);
6、控制精度高,實(shí)驗(yàn)結(jié)果精準(zhǔn)可控重復(fù)性高;
7、在同一真空腔內(nèi),可實(shí)現(xiàn)清洗和鍍膜,降低污染樣品造成的數(shù)據(jù)偏差 ;
8、加入特殊氣體,可進(jìn)行反應(yīng)離子束刻蝕;
9、可實(shí)現(xiàn)的功能有:等離子清洗、鍍膜等;
10、數(shù)字化自動(dòng)控制系統(tǒng)。