HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列 產品特點:
HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列產品特點:
1. 直線驅動允許使用焊接波紋管來密封驅動器.
2. *的氣缸設計使沖擊和振動減少到最小.
3. HVA真空閘閥 21200 系列真空腔內沒有機械鎖, 因此特別適合應用于半導體制造和其他要求低振動的敏感加工工業(yè).
4. 所有移動的接頭都有硬軸有效減少微粒的產生并且使驅動更容易.
5. HVA 不銹鋼閥體真空閘閥提供了真空閥門業(yè)界最小的內部表面區(qū)域.
6. 閥體和所有內部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr的真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門的完整性.
7. 在保養(yǎng)方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空閥門從整個系統(tǒng)中拆卸出來.
8. 閥門驅動手動、氣動可選.
9. 標準或定制法蘭滿足不同應用.
10. HVA 標準周期真空閥門 21200 系列可任意位置安裝.
11. 電磁閥控制并帶有手動超控.