CHY-C2晶圓測(cè)厚儀

CHY-C2晶圓測(cè)厚儀采用機(jī)械接觸式測(cè)量方式，嚴(yán)格按照GB/T 6618標(biāo)準(zhǔn)要求設(shè)計(jì)，有效保證了測(cè)試的規(guī)范性和準(zhǔn)確性。專(zhuān)業(yè)適用于8英寸/12英寸晶圓板、硅片厚度精確測(cè)量，同時(shí)也滿足塑料薄膜、無(wú)紡布、銅箔、金屬鍍層、薄片、隔膜、紙張、箔片等材料的厚度測(cè)量。

技術(shù)特征

l 搭載7寸IPS觸控屏，采用進(jìn)口MEAS差動(dòng)電感式位移傳感器分辨率0.1um.

l 測(cè)試過(guò)程按用戶設(shè)定程序，測(cè)量頭自動(dòng)升降測(cè)量，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)打印

l 支持同組數(shù)據(jù)100個(gè)測(cè)量點(diǎn)數(shù)據(jù)采集，支持500組數(shù)據(jù)存儲(chǔ)/查詢

l 支持多級(jí)用戶權(quán)限管理，測(cè)試數(shù)據(jù)歷史記錄可查詢，可審計(jì)追蹤。

l 實(shí)時(shí)顯示測(cè)量結(jié)果的最大值、最小值、平均值以及標(biāo)準(zhǔn)偏差等分析數(shù)據(jù)，方便用戶進(jìn)行判斷

l 配置標(biāo)準(zhǔn)量塊用于系統(tǒng)標(biāo)定，保證測(cè)試的精度和數(shù)據(jù)一致性

l 可選配自動(dòng)進(jìn)樣裝置，實(shí)現(xiàn)無(wú)人工操作，系統(tǒng)全自動(dòng)測(cè)量

l 配備USB接口，專(zhuān)業(yè)測(cè)控軟件、可通過(guò)軟件操控儀器完成各項(xiàng)測(cè)量

測(cè)試標(biāo)準(zhǔn) 該設(shè)備滿足多項(xiàng)國(guó)家和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 6618-2009、ISO 4593、ISO 534、ISO 3034、GB/T 6672、GB/T 451.3、 GB/T 6547、ASTM D374、ASTM D1777、TAPPI T411、JIS K6250、JIS K6783、JIS Z1702、 BS 3983、BS 4817、GB/T 24218.2

技術(shù)指標(biāo)

測(cè)試范圍 ：0～2 mm（常規(guī)） 0～6 mm（可選）

分辨率 ：0.1 μm

重復(fù)誤差：±0.3um

臺(tái)面有效尺寸：340mm*480mm

接觸面積 ：50 mm2（標(biāo)配）1.77 mm2（可選）注：非標(biāo)可定制

測(cè)量壓力：17.5KPa 注：非標(biāo)可定制

測(cè)量頭直徑：8mm（標(biāo)配）1.5mm（可選）注：非標(biāo)可定制

電源： AC 220V 50Hz

外形尺寸： 630 mm(L)× 340 mm(W)×350 mm(H)

凈重： 35 kg

產(chǎn)品配置：主機(jī)、標(biāo)準(zhǔn)量塊一件、專(zhuān)業(yè)軟件、通信電纜、測(cè)量頭