多效蒸餾水機(jī)中產(chǎn)生的水垢主要有兩種，一種是鍋爐水垢，另一種是二氧化硅水垢，清洗時(shí)應(yīng)采用不同的清洗劑：
　　
　　1、對鍋爐水垢，可用氨基磺酸（NH2SO2OH），使用時(shí)用去離子水配制成濃度為1％的清洗溶液，其PH值在所1~2之間，并加熱到60℃左右。也可用磷酸（H3PO4），使用時(shí)用去離子水配制成2％濃度的清洗溶液，并加熱到65℃左右
　　
　　2、對二氧化硅水垢，可采用二氟化銨（NH4HF2），使用時(shí)用去離子水配制成濃度為1.5％的溶液，并加熱到50℃~60℃。
　　
　　也可采有用氫氧化鈉＋陰離子活性劑，配制成濃度為10％的清洗液，并加熱到60℃左右。
　　
　　在化學(xué)清洗方法去除上述兩種水垢時(shí)，多效蒸餾水機(jī)不少用戶還采用市售的通用型不銹鋼清洗劑，效果不錯(cuò)，使用也較方便。
　　
　　在使用酸性溶液清洗以后，一般還要求使用中和溶液進(jìn)行中和。中和溶液的配制方法如下：
　　
　　在去離子水中加入0.5%的小蘇打（HaHCO3）和0.1%陰離子界面活性劑。
　　
　　清洗用設(shè)備
　　
　　清洗前要準(zhǔn)備好設(shè)備，主要有：
　　
　　1、貯罐
　　
　　其容量應(yīng)大于zui低所需的清洗液用量。為安全起見，貯罐應(yīng)設(shè)蓋。蓋上裝有視鏡（觀察清洗溶液回流情況）和通氣孔。
　　
　　貯罐應(yīng)有加熱功能，如加熱夾套或浸入式加熱器。應(yīng)注意的是，不能直接用鍋爐蒸汽或蒸餾水機(jī)引出的純蒸汽加熱清洗溶液，這樣會(huì)改變清洗液的濃度。
　　
　　2、循環(huán)耐酸泵
　　
　　采用壓頭為2.5kg~3kg、流量為100升／分鐘的耐酸泵。
　　
　　3、連接軟管
　　
　　用于把清洗用貯罐和多效蒸餾水機(jī)連接成清洗回路，軟管應(yīng)耐酸耐壓。
　　
　　4、閥門
　　
　　用于切斷清洗液以及調(diào)節(jié)清洗液流量。
　　
　　清洗的要求和原理
　　
　　當(dāng)多效蒸餾水機(jī)在使用過程中發(fā)現(xiàn)產(chǎn)水量有明顯的下降，多效蒸餾水機(jī)或在例行檢查中發(fā)現(xiàn)塔內(nèi)有明顯結(jié)垢時(shí)，即應(yīng)進(jìn)行清洗。
　　
　　形成水垢的原因主要純蒸汽發(fā)生器是進(jìn)料水中殘存的無機(jī)鹽長時(shí)間與設(shè)備內(nèi)壁接觸、在較高的溫度和壓力下形成的。