擴散泵機組在真空鍍膜機中起著至關(guān)重要的作用，其維護保養(yǎng)和應用方法對于確保設(shè)備的正常運行和延長使用壽命至關(guān)重要。以下是關(guān)于擴散泵機組的維護保養(yǎng)及應用的具體建議：
擴散泵機組的維護保養(yǎng)方法
•冷卻水管理：在運行過程中，必須確保冷卻水供應暢通。停止加熱后，需等待泵工作液冷卻后方可關(guān)閉冷卻水。
•真空狀態(tài)管理：擴散泵停止工作時，應保持其內(nèi)部真空狀態(tài)，以防止泵油劣化。長期存放時也應保持真空狀態(tài)，并清除冷卻水套內(nèi)的剩余水分。
•氣體管理：被抽氣體需保持干燥、無腐蝕性且無灰塵，以確保擴散泵的正常運行。
•定期檢查：定期檢查泵的性能，包括泵油是否減少或氧化，零件和泵腔的清潔情況。必要時進行加油、換油或清洗處理。
•重新啟動前的檢漏：重新啟動前必須進行檢漏工作，確保連接處無漏氣隱患。
擴散泵機組的應用方法
•安裝與裝配：重新裝配時，應保持泵芯與泵底垂直且與泵腔同心，各級噴嘴間隙應按原要求調(diào)整好。
•清洗與烘干：清洗零件及泵腔時，先用航空汽油清洗，然后用丙酮擦洗，并在80-100攝氏度下烘干或用電吹風吹干。
•啟動條件：只有在達到擴散泵的前級真空度時才能進行加熱，否則會加速泵油的氧化。
•前級機械泵的管理：注意前級機械泵的工作情況，因為前級機械泵的性能直接影響油擴散泵的正常工作。
通過以上維護保養(yǎng)方法的應用，可以有效延長擴散泵機組的使用壽命，確保其高效穩(wěn)定運行。
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