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?羅茨旋片真空機(jī)組：原理、特點(diǎn)與應(yīng)用
發(fā)布時(shí)間：2025-4-3 一、概述
羅茨旋片真空機(jī)組是一種高效、多級組合的真空抽氣系統(tǒng)，由羅茨泵(Roots Pump)和旋片式真空泵串聯(lián)組成。該機(jī)組結(jié)合了羅茨泵的大抽速能力和旋片泵的高壓縮比優(yōu)勢，廣泛應(yīng)用于需要中高真空(10?²~10?? Pa)的工業(yè)領(lǐng)域，如半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、醫(yī)藥化工等。
二、工作原理
1、羅茨泵(主泵)
•采用一對同步反向旋轉(zhuǎn)的葉輪(轉(zhuǎn)子)，通過非接觸式嚙合將氣體從進(jìn)氣口推向排氣口。
•無內(nèi)部壓縮，依賴高速旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)大抽速(可達(dá)1000~20000 m³/h)。
•需搭配前級泵(旋片泵)使用，因羅茨泵自身無法直接排放大氣壓氣體。
2、旋片泵(前級泵)
•通過偏心轉(zhuǎn)子及旋片將氣體壓縮并排出，提供初級真空(極限真空約10?² Pa)。
•為羅茨泵創(chuàng)造低背壓環(huán)境，確保機(jī)組高效運(yùn)行。
3、協(xié)同工作流程
•氣體先由旋片泵抽至中真空范圍(1~10 Pa)，隨后羅茨泵啟動(dòng)，進(jìn)一步將真空度提升至更高水平。
三、技術(shù)特點(diǎn)
1、高效節(jié)能
•羅茨泵在低壓力區(qū)間抽速顯著高于單級旋片泵，能耗比傳統(tǒng)機(jī)組降低30%~50%。
2、寬泛的工作范圍
•覆蓋中真空至高真空(10?~10?? Pa)，適應(yīng)多變工藝需求。
3、低振動(dòng)與低污染
•羅茨泵無油設(shè)計(jì)減少污染，旋片泵可選油潤滑或干式(無油旋片泵)，滿足潔凈要求。
4、智能控制
•現(xiàn)代機(jī)組配備PLC控制系統(tǒng)，自動(dòng)調(diào)節(jié)泵速、過載保護(hù)及啟停順序。
四、典型應(yīng)用場景
1、光伏與半導(dǎo)體
•用于晶圓鍍膜、刻蝕設(shè)備的真空環(huán)境維持。
2、化工與制藥
•溶劑回收、真空干燥、分子蒸餾等工藝。
3、科研與實(shí)驗(yàn)室
•同步輻射裝置、真空冷凍干燥機(jī)等。
4、食品包裝
•快速抽除包裝內(nèi)空氣，延長保質(zhì)期。