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鄭州長(zhǎng)城科工貿(mào)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： GR雙層玻璃反應(yīng)釜,GR溫?cái)嚢璺磻?yīng)浴,SHB循環(huán)水式真空泵,DLSB系列冷卻水循環(huán)泵,DLSB-1000冷水機(jī) |
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主營(yíng)產(chǎn)品： GR雙層玻璃反應(yīng)釜,GR溫?cái)嚢璺磻?yīng)浴,SHB循環(huán)水式真空泵,DLSB系列冷卻水循環(huán)泵,DLSB-1000冷水機(jī) |
2014-11-3
在低溫泵系統(tǒng)中，有時(shí)為了減少表面出氣，需要對(duì)工作室壁用液氮冷卻。但此時(shí)，在解釋電離規(guī)讀數(shù)時(shí)就應(yīng)注意。即使室壁不冷卻，規(guī)在低溫系統(tǒng)內(nèi)的位置很重要，特別是否直接對(duì)著泵。由于電離規(guī)測(cè)量的是氣體密度而不是壓強(qiáng)，若規(guī)內(nèi)氣體溫度為T1，而系統(tǒng)內(nèi)溫度為T2，則電離規(guī)壓強(qiáng)讀數(shù)是Pi=P(T1/T2)1/2，這里P是系統(tǒng)內(nèi)的壓力。
烘烤低溫泵真空系統(tǒng)時(shí)應(yīng)特別注意，由于低溫泵怕熱輻射，當(dāng)系統(tǒng)烘烤到450℃時(shí)，可能導(dǎo)致泵的溫度升高到超過工作范圍，此時(shí)可以在泵和系統(tǒng)之間插入水冷擋板作為熱輻射屏蔽，但這會(huì)嚴(yán)重地減小抽速?？梢园褤醢逯瞥珊婵緯r(shí)旋轉(zhuǎn)到屏蔽位置，結(jié)束后旋轉(zhuǎn)回去的類似于蝶閥的結(jié)構(gòu)。檔板在屏蔽位置時(shí)，系統(tǒng)的抽速減小了75%。
在抽氣系統(tǒng)操作時(shí)，系統(tǒng)的操作者應(yīng)確保在工作過程中低溫泵的熱載荷不超過額定指標(biāo)，尤其應(yīng)特別注意泵*級(jí)吸附板上的熱載荷大小。為了確保低溫泵的熱載荷不超過指標(biāo)(尤其是*級(jí)上的熱負(fù)載)，應(yīng)采用某種形式的障板來減少射到*級(jí)上的輻射用量。除了真空室壁附近300K的輻射外，*級(jí)還接受來自諸如鍍膜室、加熱燈絲或?yàn)R射放電等熱輻射源。在許多過程中熱載荷可高達(dá)100到150W，此時(shí)就容易超過功率為35到40W的膨脹機(jī)的容量。因而需要加某種形式的障板來減少射到*級(jí)上的輻射通量。簡(jiǎn)單的辦法是用反射的非冷卻障板。如果還不夠的話，則需要采用帶冷卻的人字形障板。這種障板可以用水冷卻也可以用液氮來冷卻。
低溫泵在連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)中，尤其是在吸附劑被氦飽和時(shí)，應(yīng)特別注意防止瞬時(shí)斷電，因?yàn)榧词故嵌虝r(shí)間停電，氦氣也會(huì)從吸附劑中釋放出來，而且會(huì)把真空器壁上的大量熱量傳到抽氣表面上去。這時(shí)即使系統(tǒng)已經(jīng)粗抽到20Pa也解決不了問題，因?yàn)槟且膊蛔阋宰柚惯B續(xù)的熱傳導(dǎo)現(xiàn)象發(fā)生。
