EH 機(jī)械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機(jī)械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度。

應(yīng)用

半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO₂ 激光

功能和優(yōu)勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要過 3000 m³h^-1/1776 ft³min^-1 的高抽速的應(yīng)用場合。

它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的性。

EH 泵具有的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供：

安靜的無振動運(yùn)行。

牢靠且防腐蝕。

的軸封，處理艙中不會出現(xiàn)油污染

防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級鑄鐵制造。

經(jīng)驗證的軸封布置可沒有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護(hù)要求降到低。

軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化，可潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點正是設(shè)備的制造商所需要的。

數(shù)據(jù)