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無塵潔凈室內(nèi)潔凈度主要因素-塵埃粒子計數(shù)器

時間:2019-5-10
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無塵潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù),一直是潔凈室規(guī)劃中遭到關(guān)注的問題,跟著潔凈室污染源的操控作用添加及末級過濾器功率的提高,對有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提出的引薦或參考值是否偏于保存,已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞修理等問題已在實踐中得到解決,跟著FFU的不斷改進(jìn),對是否選用FFU回風(fēng)體系也是個熱門:懸浮分子污染(AMC)的操控在微電子及IC工業(yè)中已日益說到日程上來,遭到關(guān)注。以下對這些問題的狀況分別作概括和剖析。

 

無塵潔凈室內(nèi)必定潔凈度下氣流速度的確定,隨潔凈室用處等具體狀況而異,它不只受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器功率還受其他要素影響,就工業(yè)潔凈室而言,影響潔凈度及挑選氣流速度的要素主要是:

(1)室內(nèi)污染源:建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工自身等都是塵粒開釋源,根據(jù)具體狀況而異,改變很大;

(2)室內(nèi)氣流流型及分布:單向流要求均勻、對等的流線,但會遭到工藝設(shè)備安置和方位變化及人員活動狀況等的干擾構(gòu)成部分渦流;而非單向流要求充混合,防止溫度分層。

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