ZKXJ-18GS是一款1800℃三溫區(qū)管式爐,采用進(jìn)口 Kathal Super-1900C 硅鉬棒作為加熱元件,以氧化鋁纖維板作為爐膛材料,并且內(nèi)部嵌有氧化鋯纖維。儀器配有60*1200mm的剛玉管和一套不銹鋼法蘭,法蘭上開(kāi)有dia30mm的石英窗口,以供客戶使用。每個(gè)溫區(qū)采用三個(gè)溫控系統(tǒng)獨(dú)立控制,都可設(shè)置30段升降溫程序,儀器溫度可以達(dá)到1800℃。對(duì)于在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)陶瓷和各種新型材料的燒結(jié)制備,高溫下研究材料的拉曼光譜,以及用CVD法制備外延膜,GSL-1800X-III是一款理想的實(shí)驗(yàn)工具。
技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu)
采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于60℃
高純氧化鋁作為爐膛材料內(nèi)部并嵌有氧化鋯纖維板(可耐溫2500℃)
功率
14.7KW(需要60A的空氣開(kāi)關(guān))
輸入電源
AC三相380V 50/60HZ
工作溫度
1800℃(小于2小時(shí))
連續(xù)工作溫度
1750℃
升降溫速率
5℃/ min ( T< 1600℃); 2℃/ min ( T>1600℃)
加熱區(qū)長(zhǎng)度
溫區(qū)一:200mm
溫區(qū)二:210mm
溫區(qū)三:200mm
總溫區(qū):610mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度
300mm(±1℃,三個(gè)溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度)
加熱元件
14 根 Kanthal Super-1900C硅鉬棒(瑞典制造)
溫控系統(tǒng)
3個(gè)數(shù)字溫度控制器,采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序,
設(shè)有超溫和斷偶保護(hù)
控溫精度:+/- 1 ℃
3個(gè)B型熱偶
儀器面板上安裝有RS485通訊接口
可選購(gòu)PC控溫軟件,將升溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中
控溫儀表操作視頻
爐管
材料:剛玉管,純度: 99.8%
(標(biāo)配)尺寸:OD: 60 mm x ID: 54mm x 1200mm length
儀器中備用4個(gè)氧化鋁管堵,使用高溫爐時(shí),管堵必須放入爐管兩端(如圖所示),以保證法蘭密封性
密封法蘭
儀器配有一套dia60mm不銹鋼水冷密封法蘭(上面安裝有不銹鋼截止閥和壓力表),快卸法蘭便于操作
選購(gòu):
法蘭上帶有30mm dia x 3 mm 雙拋石英窗口,使得激光可以穿過(guò)爐管
兩面拋光的藍(lán)寶石單晶棒可以阻擋熱量輻射并透過(guò)光束
16L/min 水冷機(jī)冷卻法蘭
真空度
50 mtorr (采用機(jī)械泵)
10^-5 torr(采用分子泵系統(tǒng))
儀器外形尺寸(長(zhǎng)×寬×高)
1400×550×940mm
重量
約300KG
質(zhì)保期
一年質(zhì)保期(不包括爐管、加熱元件和硅膠O型圈)
質(zhì)量認(rèn)證
CE認(rèn)證
所有電器元件(>24V)都通過(guò)UL?/?MET?/?CSA認(rèn)證
若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
使用注意事項(xiàng) 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
當(dāng)爐體溫度高于1500℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱剛玉管的沖擊
剛玉管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1750℃
對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)